晶片烘干系統(tǒng)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201110042028.8 申請日 -
公開（公告）號 CN102148136B 公開（公告）日 2014-05-07
申請公布號 CN102148136B 申請公布日 2014-05-07
分類號 H01L21/00(2006.01)I;F26B15/18(2006.01)I;H01L21/677(2006.01)I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 李園 申請（專利權(quán)）人 啟迪微電子（蕪湖）有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京清亦華知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 王楚雯;啟迪微電子（蕪湖）有限公司
地址 100084 北京市海淀區(qū)清華大學(xué)西北小區(qū)6號樓313號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種晶片烘干系統(tǒng)，包括：烘干室；傳輸單元，所述傳輸單元用于將晶片傳輸通過所述烘干室；其中所述傳輸單元包括：傳輸帶，所述傳輸帶的上段用于承載晶片承載器，所述晶片容納在所述晶片承載器中，所述傳輸帶的上段的兩側(cè)朝向所述傳輸帶的中央向上或者向下傾斜。根據(jù)本發(fā)明的晶片烘干系統(tǒng)，可以更高效、更清潔地干燥晶片。此外，該晶片烘干系統(tǒng)可以降低功率消耗并提高晶片承載器的利用效率和使用壽命。