用于半導(dǎo)體制造設(shè)備的氣體管路控制裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201910560512.6 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN110289231A 公開(kāi)（公告）日 2019-09-27
申請(qǐng)公布號(hào) CN110289231A 申請(qǐng)公布日 2019-09-27
分類號(hào) H01L21/67（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 霍冬冬; 蔡學(xué)權(quán) 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 英特爾半導(dǎo)體（大連）有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京永新同創(chuàng)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 英特爾半導(dǎo)體（大連）有限公司; 英特爾公司
地址 116000 遼寧省大連市經(jīng)濟(jì)技術(shù)開(kāi)發(fā)區(qū)淮河?xùn)|路
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本公開(kāi)提供了一種用于半導(dǎo)體制造設(shè)備的氣體管路控制裝置，半導(dǎo)體制造設(shè)備包括處理氣體供給管路、處理氣體排出管路和保護(hù)氣體供給管路，所述氣體管路控制裝置包括：保護(hù)氣體供給閥，設(shè)置在保護(hù)氣體供給管路中，被配置為在保護(hù)氣體供給閥處于打開(kāi)狀態(tài)時(shí)，使得保護(hù)氣體供給管路與處理氣體排出管路處于連通狀態(tài)，以向處理氣體排出管路供給保護(hù)氣體，以及在保護(hù)氣體供給閥處于關(guān)斷狀態(tài)時(shí)，使得保護(hù)氣體供給管路與處理氣體排出管路處于非連通狀態(tài)，以禁止向處理氣體排出管路供給保護(hù)氣體；以及第一控制開(kāi)關(guān)，被配置為在接收到保護(hù)氣體供給信號(hào)時(shí)，使保護(hù)氣體供給閥處于打開(kāi)狀態(tài)，并且在未接收到保護(hù)氣體供給信號(hào)時(shí)，使保護(hù)氣體供給閥處于關(guān)斷狀態(tài)。