用于半導(dǎo)體制造設(shè)備的氣體管路控制裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201910560512.6 申請日 -
公開（公告）號 CN110289231B 公開（公告）日 2019-09-27
申請公布號 CN110289231B 申請公布日 2019-09-27
分類號 H01L21/67(2006.01)I 分類 -
發(fā)明人 霍冬冬;蔡學(xué)權(quán) 申請（專利權(quán)）人 英特爾半導(dǎo)體（大連）有限公司
代理機構(gòu) 北京永新同創(chuàng)知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 英特爾半導(dǎo)體（大連）有限公司;英特爾公司
地址 116000遼寧省大連市經(jīng)濟技術(shù)開發(fā)區(qū)淮河?xùn)|路
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本公開提供了一種用于半導(dǎo)體制造設(shè)備的氣體管路控制裝置，半導(dǎo)體制造設(shè)備包括處理氣體供給管路、處理氣體排出管路和保護氣體供給管路，所述氣體管路控制裝置包括：保護氣體供給閥，設(shè)置在保護氣體供給管路中，被配置為在保護氣體供給閥處于打開狀態(tài)時，使得保護氣體供給管路與處理氣體排出管路處于連通狀態(tài)，以向處理氣體排出管路供給保護氣體，以及在保護氣體供給閥處于關(guān)斷狀態(tài)時，使得保護氣體供給管路與處理氣體排出管路處于非連通狀態(tài)，以禁止向處理氣體排出管路供給保護氣體；以及第一控制開關(guān)，被配置為在接收到保護氣體供給信號時，使保護氣體供給閥處于打開狀態(tài)，并且在未接收到保護氣體供給信號時，使保護氣體供給閥處于關(guān)斷狀態(tài)。??