電子轟擊離子源及其控制方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202111389864.3 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN114156159A 公開（公告）日 2022-03-08
申請(qǐng)公布號(hào) CN114156159A 申請(qǐng)公布日 2022-03-08
分類號(hào) H01J49/14（2006.01）I;H01J49/02（2006.01）I;H01J49/06（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 楊天祥;段煉;馬喬;劉立鵬;韓雙來 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 杭州譜育科技發(fā)展有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 311305浙江省杭州市臨安區(qū)青山湖街道科技大道2466-1號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供了電子轟擊離子源及其控制方法，所述電子轟擊離子源包括電子源和電離室；第一偏轉(zhuǎn)電極用于偏轉(zhuǎn)所述電離室內(nèi)的離子束，第一法拉第杯檢測(cè)器分別設(shè)置在所述電離室的軸心上側(cè)；第二偏轉(zhuǎn)電極用于所述電離室內(nèi)的偏轉(zhuǎn)離子束，第二法拉第杯檢測(cè)器分別設(shè)置在所述電離室的軸心下側(cè)；計(jì)算單元用于根據(jù)所述第一法拉第杯檢測(cè)器和第二法拉第杯檢測(cè)器的輸出得出離子束和所述軸心間的偏差；控制單元用于根據(jù)所述偏差去調(diào)整第一偏轉(zhuǎn)電極和/或第二偏轉(zhuǎn)電極，使得離子束沿著所述軸心傳輸。本發(fā)明具有離子傳輸效率高等優(yōu)點(diǎn)。