電感耦合等離子體離子源區(qū)域降氧裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202111282219.1 申請日 -
公開（公告）號 CN114203508A 公開（公告）日 2022-03-18
申請公布號 CN114203508A 申請公布日 2022-03-18
分類號 H01J37/32（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 劉勇勝;姜昕;夏曉峰;丁海波;劉文貴;藺潔;張程懿;盧水淼;陳力飛 申請（專利權）人 杭州譜育科技發(fā)展有限公司
代理機構 深圳市世紀恒程知識產(chǎn)權代理事務所 代理人 高莎
地址 430000湖北省武漢市洪山區(qū)魯磨路388號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開一種電感耦合等離子體離子源區(qū)域降氧裝置，包括炬管和充氣套；所述充氣套上端密封套設于所述炬管外，下端與所述炬管間隔設置，以形成充氣間隙，所述充氣套的外側壁設有連通所述充氣間隙的充氣孔，所述充氣套的下端外側面向外突設有環(huán)形導氣凸部，所述環(huán)形導氣凸部用以與設于所述炬管下方的采樣錐底座相對設置，且與所述采樣錐底座之間形成出氣間隙；其中，惰性氣體自所述充氣孔進入所述充氣間隙，并經(jīng)過所述出氣間隙排出，以包覆在形成于所述炬管末端的離子源火焰外側，有效降低了外部環(huán)境中的氧進入離子源區(qū)域?qū)y試產(chǎn)生的干擾。