電感耦合等離子體離子源區(qū)域降氧裝置
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202111282219.1 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN114203508A | 公開(kāi)（公告）日 | 2022-03-18 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN114203508A | 申請(qǐng)公布日 | 2022-03-18 |
| 分類號(hào) | H01J37/32（2006.01）I | 分類 | 基本電氣元件; |
| 發(fā)明人 | 劉勇勝;姜昕;夏曉峰;丁海波;劉文貴;藺潔;張程懿;盧水淼;陳力飛 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 杭州譜育科技發(fā)展有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 深圳市世紀(jì)恒程知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所 | 代理人 | 高莎 |
| 地址 | 430000湖北省武漢市洪山區(qū)魯磨路388號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明公開(kāi)一種電感耦合等離子體離子源區(qū)域降氧裝置，包括炬管和充氣套；所述充氣套上端密封套設(shè)于所述炬管外，下端與所述炬管間隔設(shè)置，以形成充氣間隙，所述充氣套的外側(cè)壁設(shè)有連通所述充氣間隙的充氣孔，所述充氣套的下端外側(cè)面向外突設(shè)有環(huán)形導(dǎo)氣凸部，所述環(huán)形導(dǎo)氣凸部用以與設(shè)于所述炬管下方的采樣錐底座相對(duì)設(shè)置，且與所述采樣錐底座之間形成出氣間隙；其中，惰性氣體自所述充氣孔進(jìn)入所述充氣間隙，并經(jīng)過(guò)所述出氣間隙排出，以包覆在形成于所述炬管末端的離子源火焰外側(cè)，有效降低了外部環(huán)境中的氧進(jìn)入離子源區(qū)域?qū)y(cè)試產(chǎn)生的干擾。 |
