基于連續(xù)旋轉(zhuǎn)的干涉儀及其工作方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202111389871.3 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN114136442A 公開（公告）日 2022-03-04
申請(qǐng)公布號(hào) CN114136442A 申請(qǐng)公布日 2022-03-04
分類號(hào) G01J3/02（2006.01）I;G01J3/45（2006.01）I 分類 測(cè)量；測(cè)試;
發(fā)明人 向俊杰;喻正寧;李銳;俞曉峰;吳鋒明;韓雙來 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 杭州譜育科技發(fā)展有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 311305浙江省杭州市臨安區(qū)青山湖街道科技大道2466-1號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供了基于連續(xù)旋轉(zhuǎn)的干涉儀及其工作方法，基于連續(xù)旋轉(zhuǎn)的干涉儀包括第一光源、第一透反鏡和第一探測(cè)器，第一光源用于發(fā)射測(cè)量光；第一反射鏡和第二反射鏡關(guān)于所述第一透反鏡對(duì)稱設(shè)置，第一反射鏡用于反射測(cè)量光的穿過第一透反鏡的透射光，第二反射鏡用于反射測(cè)量光在第一透反鏡上的反射光；第一反射單元包括：第一旋轉(zhuǎn)臂繞著旋轉(zhuǎn)軸旋轉(zhuǎn)；第三反射鏡和第四反射鏡分別設(shè)置在第一旋轉(zhuǎn)臂上，且關(guān)于旋轉(zhuǎn)軸對(duì)稱；當(dāng)?shù)谌瓷溏R和第四反射鏡旋轉(zhuǎn)到第一工作位時(shí)，第三反射鏡用于將第一反射鏡上的反射光反射回第一反射鏡，第四反射鏡用于將第二反射鏡上的反射光反射回第二反射鏡。本發(fā)明具有掃描速度高、信噪比高等優(yōu)點(diǎn)。