一種平面波導(dǎo)基片的光柵加工方法及系統(tǒng)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202010514144.4 申請日 -
公開（公告）號 CN113960714A 公開（公告）日 2022-01-21
申請公布號 CN113960714A 申請公布日 2022-01-21
分類號 G02B6/13（2006.01）I;G02B6/124（2006.01）I;G02B5/18（2006.01）I;G02B27/28（2006.01）I;B23K26/046（2014.01）I;B23K26/70（2014.01）I 分類 光學(xué);
發(fā)明人 黃沃彬;張建平;謝建毫;劉東昌 申請（專利權(quán)）人 飛巽傳感技術(shù)（上海）有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京英特普羅知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 鄧小玲
地址 201306上海市浦東新區(qū)南匯新城鎮(zhèn)環(huán)湖西二路888號C樓
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種平面波導(dǎo)基片的光柵加工方法，包括：將平面波導(dǎo)基片放置于載物臺上，調(diào)節(jié)所述載物臺以使飛秒激光器發(fā)射的激光聚焦于所述平面波導(dǎo)基片的波導(dǎo)芯區(qū)的中心位置；獲取所述飛秒激光器的激光重復(fù)頻率，根據(jù)所述激光重復(fù)頻率確定所述載物臺的移動速度，并控制所述載物臺以確定的所述移動速度進(jìn)行移動；根據(jù)所述激光重復(fù)頻率控制所述飛秒激光器發(fā)射激光；通過偏振控制片對所述激光進(jìn)行功率調(diào)節(jié)，得到加工激光；采用逐點加工方式，通過所述加工激光對所述波導(dǎo)芯區(qū)進(jìn)行光柵刻寫。本發(fā)明的有益效果在于：可靈活刻寫不同長度和中心波長的光柵，效率高，加工方便。