一種基于MEMS硅基加熱片的霧化芯結(jié)構(gòu)及其制造方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202111245466.4 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN113940459A 公開(kāi)（公告）日 2022-01-18
申請(qǐng)公布號(hào) CN113940459A 申請(qǐng)公布日 2022-01-18
分類號(hào) A24F40/46（2020.01）I;A24F40/10（2020.01）I;A24F40/40（2020.01）I;A24F40/42（2020.01）I;A24F40/70（2020.01）I 分類 煙草；雪茄煙；紙煙；吸煙者用品;
發(fā)明人 李文翔;王敏銳 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 美滿芯盛（杭州）微電子有限公司
代理機(jī)構(gòu) 蘇州瑞光知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 羅磊
地址 311231浙江省杭州市蕭山區(qū)經(jīng)濟(jì)技術(shù)開(kāi)發(fā)區(qū)橋南春暉路1號(hào)-8（自主分割）
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開(kāi)了一種基于MEMS硅基加熱片的霧化芯結(jié)構(gòu)，包括：硅基加熱片和多孔陶瓷芯，硅基加熱片包括加熱絲和硅基襯底，加熱絲制作在硅基襯底表面，硅基襯底上設(shè)置有陣列排布的霧化微孔，硅基襯底固定安裝在多孔陶瓷芯上，霧化微孔連通多孔陶瓷芯。本發(fā)明還公開(kāi)了一種基于MEMS硅基加熱片的霧化芯結(jié)構(gòu)的制造方法。本發(fā)明相較于現(xiàn)有技術(shù)，避免霧化芯漏液，降低加工難度，提高良品率，增加霧化芯霧化加熱面積，提高溫度均勻性，增大發(fā)霧量，減少干燒。