一種MEMS硅基霧化芯及其制造方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202111029463.7 申請日 -
公開（公告）號(hào) CN113662250A 公開（公告）日 2021-11-19
申請公布號(hào) CN113662250A 申請公布日 2021-11-19
分類號(hào) A24F40/10（2020.01）I;A24F40/46（2020.01）I;A24F40/40（2020.01）I;A24F40/42（2020.01）I 分類 煙草；雪茄煙；紙煙；吸煙者用品;
發(fā)明人 王敏銳 申請（專利權(quán)）人 美滿芯盛（杭州）微電子有限公司
代理機(jī)構(gòu) 蘇州瑞光知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 羅磊
地址 311231浙江省杭州市蕭山區(qū)經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)橋南春暉路1號(hào)-8（自主分割）
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種MEMS硅基霧化芯，其包括第一襯底和第二襯底，所述第一襯底上設(shè)置有若干霧化孔，所述霧化孔貫穿所述第一襯底，所述第一襯底的一側(cè)設(shè)置有橫向微流道儲(chǔ)液艙，若干所述霧化孔均與所述橫向微流道儲(chǔ)液艙相連通，所述第一襯底的另一側(cè)設(shè)置有金屬電極，所述金屬電極上連接有電阻絲；所述第二襯底連接在所述第一襯底上，所述第二襯底上設(shè)置與若干通孔，所述通孔貫穿所述第二襯底的上下表面，所述通孔連通所述橫向微流道儲(chǔ)液艙，所述通孔與所述霧化孔錯(cuò)位布置。本發(fā)明還公開了一種MEMS硅基霧化芯制造方法。本發(fā)明可以解決陶瓷霧化芯多孔孔徑不一致，導(dǎo)致加熱不均勻、局部過熱干燒碳化的問題。