一種布滿微通道結(jié)構(gòu)的MEMS硅基霧化芯及其制造方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202210020887.5 申請日 -
公開（公告）號 CN114190613A 公開（公告）日 2022-03-18
申請公布號 CN114190613A 申請公布日 2022-03-18
分類號 A24F40/70（2020.01）I;A24F40/46（2020.01）I;A24F40/42（2020.01）I;A24F40/10（2020.01）I 分類 煙草；雪茄煙；紙煙；吸煙者用品;
發(fā)明人 王敏銳;李文翔 申請（專利權(quán)）人 美滿芯盛（杭州）微電子有限公司
代理機構(gòu) 蘇州瑞光知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 羅磊
地址 311231浙江省杭州市蕭山區(qū)經(jīng)濟技術(shù)開發(fā)區(qū)橋南春暉路1號-8（自主分割）
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種布滿微通道結(jié)構(gòu)的MEMS硅基霧化芯，包括：硅襯底和加熱絲，硅襯底上設(shè)置有陣列排布的霧化微通道，硅襯底的一相對側(cè)表面上設(shè)置有對稱布置的第一氧化層，霧化微通道的側(cè)壁上設(shè)置有第二氧化層，加熱絲制作在第一氧化層表面，加熱絲的端部設(shè)置有接觸電極。本發(fā)明還公開了一種布滿微通道結(jié)構(gòu)的MEMS硅基霧化芯的制造方法。本發(fā)明相較于現(xiàn)有硅基霧化芯技術(shù)，降低硅基霧化芯的縱向熱傳導能力，提高表面熱效率；相比現(xiàn)有陶瓷霧化芯技術(shù)，霧化芯表面導熱性好，熱量分布均勻可調(diào)，有效避免加熱時的糊芯現(xiàn)象。