一種MEMS硅基孔腔霧化芯及其制造方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202210019347.5 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN114158783A 公開（公告）日 2022-03-11
申請(qǐng)公布號(hào) CN114158783A 申請(qǐng)公布日 2022-03-11
分類號(hào) A24F40/46（2020.01）I;A24F40/40（2020.01）I;A24F40/10（2020.01）I;A24F40/42（2020.01）I;A24F40/70（2020.01）I 分類 煙草；雪茄煙；紙煙；吸煙者用品;
發(fā)明人 李文翔;王敏銳 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 美滿芯盛（杭州）微電子有限公司
代理機(jī)構(gòu) 蘇州瑞光知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 羅磊
地址 311231浙江省杭州市蕭山區(qū)經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)橋南春暉路1號(hào)-8（自主分割）
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種MEMS硅基孔腔霧化芯，包括：硅襯底、填充層和加熱絲，硅襯底一側(cè)表面設(shè)置有若干個(gè)微孔、相對(duì)的另一側(cè)表面設(shè)置有至少一個(gè)進(jìn)液孔，微孔包括霧化孔和釋放孔，硅襯底內(nèi)部設(shè)置有儲(chǔ)液腔，釋放孔連通至儲(chǔ)液腔，霧化孔連通至儲(chǔ)液腔，進(jìn)液孔連通至儲(chǔ)液腔，填充層制作在硅襯底上微孔一側(cè)表面，填充層封閉釋放孔頂部，加熱絲制作在填充層表面，加熱絲的端部設(shè)置有接觸電極。本發(fā)明還公開了一種MEMS硅基孔腔霧化芯的制造方法。本發(fā)明相較于現(xiàn)有技術(shù)，霧化芯的鎖油性能好，加工良率高，霧化加熱面積大，加熱時(shí)溫度均勻性高，材料對(duì)人體無危害。