實現(xiàn)超大口徑平面鏡面形檢測的裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201710729204.2 申請日 -
公開（公告）號 CN107462185A 公開（公告）日 2017-12-12
申請公布號 CN107462185A 申請公布日 2017-12-12
分類號 G01B11/24(2006.01)I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 朱碩;張曉輝 申請（專利權(quán)）人 長春長光視園投資有限公司
代理機構(gòu) 長春眾邦菁華知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 長春長光精密儀器集團有限公司
地址 136000 吉林省長春市高新北區(qū)明溪路1759號E2296室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種實現(xiàn)超大口徑平面鏡面形檢測的裝置涉及光學(xué)元件面形檢測技術(shù)領(lǐng)域,包括：轉(zhuǎn)動機構(gòu)；移動機構(gòu)，所述移動機構(gòu)設(shè)置于轉(zhuǎn)動機構(gòu)上，移動機構(gòu)帶動被檢平面鏡隨著轉(zhuǎn)動機構(gòu)轉(zhuǎn)動，所述移動機構(gòu)帶動其上的被檢平面鏡在移動機構(gòu)表面水平或豎直方向移動；球面反射機構(gòu)，所述球面反射機構(gòu)的中心與被檢平面鏡的中心位于同一平面，球面反射機構(gòu)距轉(zhuǎn)動機構(gòu)一定距離、且沿著轉(zhuǎn)動機構(gòu)圓心轉(zhuǎn)動；激光干涉儀，所述激光干涉儀設(shè)置于轉(zhuǎn)動機構(gòu)的一側(cè)且間隔一定距離，激光干涉儀的出光端中心位置與被測平面鏡中心位于同一平面。本發(fā)明的有益效果為：滿足了檢測通用性強，檢測精度高，低成本的大口徑平面鏡全口徑高精度面形檢測需求。