實(shí)現(xiàn)超大口徑平面鏡面形檢測的裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201710729204.2 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN107462185B 公開（公告）日 2019-10-01
申請(qǐng)公布號(hào) CN107462185B 申請(qǐng)公布日 2019-10-01
分類號(hào) G01B11/24 分類 測量；測試;
發(fā)明人 朱碩;張曉輝 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 長春長光視園投資有限公司
代理機(jī)構(gòu) 長春眾邦菁華知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 長春長光精密儀器集團(tuán)有限公司
地址 136000 吉林省長春市高新北區(qū)明溪路1759號(hào)E2296室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種實(shí)現(xiàn)超大口徑平面鏡面形檢測的裝置涉及光學(xué)元件面形檢測技術(shù)領(lǐng)域,包括：轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)；移動(dòng)機(jī)構(gòu)，所述移動(dòng)機(jī)構(gòu)設(shè)置于轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)上，移動(dòng)機(jī)構(gòu)帶動(dòng)被檢平面鏡隨著轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)轉(zhuǎn)動(dòng)，所述移動(dòng)機(jī)構(gòu)帶動(dòng)其上的被檢平面鏡在移動(dòng)機(jī)構(gòu)表面水平或豎直方向移動(dòng)；球面反射機(jī)構(gòu)，所述球面反射機(jī)構(gòu)的中心與被檢平面鏡的中心位于同一平面，球面反射機(jī)構(gòu)距轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)一定距離、且沿著轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)圓心轉(zhuǎn)動(dòng)；激光干涉儀，所述激光干涉儀設(shè)置于轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)的一側(cè)且間隔一定距離，激光干涉儀的出光端中心位置與被測平面鏡中心位于同一平面。本發(fā)明的有益效果為：滿足了檢測通用性強(qiáng)，檢測精度高，低成本的大口徑平面鏡全口徑高精度面形檢測需求。