一種化學(xué)機(jī)械拋光液用氧化鋁及其制備工藝

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201910320947.3 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN109867298A 公開(kāi)（公告）日 2019-06-11
申請(qǐng)公布號(hào) CN109867298A 申請(qǐng)公布日 2019-06-11
分類號(hào) C01F7/02;C01F7/46;C09K3/14 分類 無(wú)機(jī)化學(xué);
發(fā)明人 左海珍 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 湖南恒源精密陶瓷有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 014040 內(nèi)蒙古自治區(qū)包頭市九原區(qū)金沙華府4棟樓2單元2樓東戶
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供了一種化學(xué)機(jī)械拋光液用氧化鋁及其制備方法，其中拋光液中的α?氧化鋁顆粒由高嶺石提純獲得，所述氧化鋁顆粒的純度大于99wt.%、莫氏硬度9.1、顆粒尺寸集中于0.5±0.25μm，D97≤1μm，且制備過(guò)程簡(jiǎn)單、原料來(lái)源廣泛，產(chǎn)品性價(jià)比強(qiáng)，可廣泛用于各個(gè)行業(yè)和領(lǐng)域，能夠滿足CMP拋光要求。