一種化學機械拋光液用氧化鋁及其制備工藝

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201910320947.3 申請日 -
公開（公告）號 CN109867298B 公開（公告）日 2021-07-30
申請公布號 CN109867298B 申請公布日 2021-07-30
分類號 C01F7/02（2006.01）I;C01F7/46（2006.01）I;C09K3/14（2006.01）I 分類 無機化學;
發(fā)明人 左海珍 申請（專利權）人 湖南恒源精密陶瓷有限公司
代理機構 南昌逸辰知識產權代理事務所（普通合伙） 代理人 劉曉敏
地址 410100湖南省長沙市經濟技術開發(fā)區(qū)星沙產業(yè)基地涼塘路以南、藍田路以西、雷鳴路以北長沙旺星置業(yè)有限公司A-2號廠房102室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供了一種化學機械拋光液用氧化鋁及其制備方法，其中拋光液中的α?氧化鋁顆粒由高嶺石提純獲得，所述氧化鋁顆粒的純度大于99wt.%、莫氏硬度9.1、顆粒尺寸集中于0.5±0.25μm，D97≤1μm，且制備過程簡單、原料來源廣泛，產品性價比強，可廣泛用于各個行業(yè)和領域，能夠滿足CMP拋光要求。