軟態(tài)鍵合銅絲的清洗退火裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201120305772.8 申請日 -
公開（公告）號 CN202230987U 公開（公告）日 2012-05-23
申請公布號 CN202230987U 申請公布日 2012-05-23
分類號 H01L21/00(2006.01)I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 尹學軍 申請（專利權）人 上海世鑫半導體科技有限公司
代理機構 上海旭誠知識產權代理有限公司 代理人 上海世鑫半導體科技有限公司
地址 201100 上海市閔行區(qū)友東路83號4F
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種軟態(tài)鍵合銅絲的清洗退火裝置，包括放絲軸、清洗槽、第一導線輪、編碼器、第二導線輪、退火爐以及收絲器。需要進行清洗、退火的軟態(tài)鍵合銅絲從所述放絲軸放絲，依次經過所述清洗槽、所述第一導線輪、所述編碼器、所述第二導線輪、所述退火爐，由收絲器收集，從而實現(xiàn)了對軟態(tài)鍵合銅絲清洗、退火的一體化操作。