線性分光紅外傳感芯片及氣體檢測裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202111164513.2 申請日 -
公開（公告）號 CN113702320A 公開（公告）日 2021-11-26
申請公布號 CN113702320A 申請公布日 2021-11-26
分類號 G01N21/3504（2014.01）I;G01N21/01（2006.01）I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 白鵬飛;杜鵬淵;李世曉;覃元鋒;馬浩楠;周國富 申請（專利權）人 彩芯（廣州）半導體有限公司
代理機構 廣州嘉權專利商標事務所有限公司 代理人 廖慧賢
地址 510006廣東省廣州市番禺區(qū)外環(huán)西路378號華南師范大學華南先進光電子研究院
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本申請公開了一種線性分光紅外傳感芯片及氣體檢測裝置，本申請的線性分光紅外傳感芯片包括基板、至少兩個檢測單元和線性漸變?yōu)V光單元。檢測單元設置于基板表面，每個檢測單元用于檢測一種特定氣體；線性漸變?yōu)V光單元，設置于多個檢測單元表面；其中，多個檢測單元的排布方向與線性漸變?yōu)V光單元的透光性能變化方向一致。本申請的線性分光紅外傳感芯片通過線性漸變?yōu)V光單元將經(jīng)過氣體吸收后的紅外光進行分光處理，將不同波段的紅外光傳輸至檢測單元進行檢測，實現(xiàn)了對多種氣體的同時檢測，并且，線性分光紅外傳感芯片結構簡單，便于安裝與使用。