晶圓翻轉機構的保護裝置及其保護方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202111306223.7 申請日 -
公開（公告）號 CN113948435A 公開（公告）日 2022-01-18
申請公布號 CN113948435A 申請公布日 2022-01-18
分類號 H01L21/677（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 史蒂文·賀·汪 申請（專利權）人 新陽硅密（上海）半導體技術有限公司
代理機構 上海弼興律師事務所 代理人 蔡燁平
地址 201616上海市松江區(qū)思賢路3600號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種晶圓翻轉機構的保護裝置及其保護方法，涉及半導體加工技術領域，所述保護裝置包括限位裝置，限位裝置設置在所述晶圓翻轉機構的容納盒外部，所述容納盒的內(nèi)部設置有片盒，片盒的內(nèi)部設置有晶圓，所述限位裝置能夠在第一狀態(tài)和第二狀態(tài)之間移動，位于第一狀態(tài)時，所述限位裝置能夠限制所述片盒滑動，限位裝置能夠限制所述晶圓離開所述片盒，位于第二狀態(tài)時，所述片盒可以自由進出所述容納盒，所述晶圓可自由進出所述片盒。通過設置限位裝置，能夠限制片盒滑動，限制晶圓從片盒中滑出，進而在容納盒翻轉過程中，能夠?qū)ζ泻途A起到保護作用，防止片盒滑動和晶圓從片盒中滑出，避免了晶圓在翻轉過程中發(fā)生損壞。