導(dǎo)電密封組件和包含其的晶圓電鍍夾具
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202121761422.2 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN215925125U | 公開(kāi)（公告）日 | 2022-03-01 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN215925125U | 申請(qǐng)公布日 | 2022-03-01 |
| 分類(lèi)號(hào) | C25D17/06（2006.01）I;C25D7/12（2006.01）I | 分類(lèi) | 電解或電泳工藝；其所用設(shè)備〔4〕; |
| 發(fā)明人 | 史蒂文·賀·汪;林鵬鵬;李孟;郭文全 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 | 新陽(yáng)硅密（上海）半導(dǎo)體技術(shù)有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 上海弼興律師事務(wù)所 | 代理人 | 楊東明;蔡燁平 |
| 地址 | 201616上海市松江區(qū)思賢路3600號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型公開(kāi)了一種導(dǎo)電密封組件和包含其的晶圓電鍍夾具，所述導(dǎo)電密封組件包括：導(dǎo)電環(huán)、導(dǎo)電接觸件、彈性件和密封膠墊，所述導(dǎo)電環(huán)包括若干個(gè)導(dǎo)電孔，所述導(dǎo)電孔垂直于所述晶圓設(shè)置，所述導(dǎo)電孔沿周向方向均勻分布在所述導(dǎo)電環(huán)上，所述導(dǎo)電孔用于容納所述導(dǎo)電接觸件，所述彈性件的一端接觸所述導(dǎo)電接觸件，所述彈性件的另一端接觸所述導(dǎo)電孔的孔底，所述密封膠墊和所述導(dǎo)電接觸件安裝在所述導(dǎo)電環(huán)朝向所述晶圓的一側(cè)，所述密封膠墊環(huán)繞所述導(dǎo)電接觸件設(shè)置，所述導(dǎo)電接觸件朝向所述晶圓的一側(cè)凸出于所述密封膠墊，本實(shí)用新型解決了導(dǎo)電均勻性和密封性對(duì)于電鍍均勻性的影響，增大了晶圓的利益。 |
