一種用于濺射鍍膜的輔助氣體供氣系統(tǒng)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201721723909.5 申請日 -
公開(公告)號 CN207619519U 公開(公告)日 2018-07-17
申請公布號 CN207619519U 申請公布日 2018-07-17
分類號 C23C14/35 分類 對金屬材料的鍍覆;用金屬材料對材料的鍍覆;表面化學(xué)處理;金屬材料的擴散處理;真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆;金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 穆鍵;李金成 申請(專利權(quán))人 上海北玻鍍膜技術(shù)工業(yè)有限公司
代理機構(gòu) 洛陽公信知識產(chǎn)權(quán)事務(wù)所(普通合伙) 代理人 常曉虎
地址 200000 上海市松江區(qū)松江科技園區(qū)光華路328號3層
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種用于濺射鍍膜的輔助氣體供氣系統(tǒng),包括供氣站、供氣管路和氣體分配模塊,供氣管路包括主管路和分支管路,主管路包括與供氣站連接的氧氣管路、氮氣管路和氬氣管路,每條主管路均連接有五條分支管,氧氣管路的分支管、氮氣管路的分支管以及氬氣管路的分支管之間通過四通管連接,每個四通管上均連接有與氣體分配模塊連接的分配管路,氣體分配模塊包括五個分段供氣單元,分段供氣單元設(shè)置在濺射室內(nèi),并沿濺射室長度方向布置,由分段供氣單元為濺射室供氣,每個分段供氣單元與一條分配管路連通,每條分支管上設(shè)有閥門。本實用新型可實現(xiàn)在濺射室內(nèi)不同部位通入不同種類的輔助氣體,并控制輔助氣體的用量,改善雙銀玻璃和三銀玻璃膜層的均勻性。