一種用于濺射鍍膜的輔助氣體供氣系統(tǒng)
基本信息
申請?zhí)?/td> | CN201721723909.5 | 申請日 | - |
公開(公告)號 | CN207619519U | 公開(公告)日 | 2018-07-17 |
申請公布號 | CN207619519U | 申請公布日 | 2018-07-17 |
分類號 | C23C14/35 | 分類 | 對金屬材料的鍍覆;用金屬材料對材料的鍍覆;表面化學(xué)處理;金屬材料的擴散處理;真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆;金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕; |
發(fā)明人 | 穆鍵;李金成 | 申請(專利權(quán))人 | 上海北玻鍍膜技術(shù)工業(yè)有限公司 |
代理機構(gòu) | 洛陽公信知識產(chǎn)權(quán)事務(wù)所(普通合伙) | 代理人 | 常曉虎 |
地址 | 200000 上海市松江區(qū)松江科技園區(qū)光華路328號3層 | ||
法律狀態(tài) | - |
摘要
摘要 | 一種用于濺射鍍膜的輔助氣體供氣系統(tǒng),包括供氣站、供氣管路和氣體分配模塊,供氣管路包括主管路和分支管路,主管路包括與供氣站連接的氧氣管路、氮氣管路和氬氣管路,每條主管路均連接有五條分支管,氧氣管路的分支管、氮氣管路的分支管以及氬氣管路的分支管之間通過四通管連接,每個四通管上均連接有與氣體分配模塊連接的分配管路,氣體分配模塊包括五個分段供氣單元,分段供氣單元設(shè)置在濺射室內(nèi),并沿濺射室長度方向布置,由分段供氣單元為濺射室供氣,每個分段供氣單元與一條分配管路連通,每條分支管上設(shè)有閥門。本實用新型可實現(xiàn)在濺射室內(nèi)不同部位通入不同種類的輔助氣體,并控制輔助氣體的用量,改善雙銀玻璃和三銀玻璃膜層的均勻性。 |
