一種用于濺射鍍膜的輔助氣體供氣系統(tǒng)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201721723909.5 申請日 -
公開（公告）號 CN207619519U 公開（公告）日 2018-07-17
申請公布號 CN207619519U 申請公布日 2018-07-17
分類號 C23C14/35 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 穆鍵;李金成 申請（專利權(quán)）人 上海北玻鍍膜技術(shù)工業(yè)有限公司
代理機構(gòu) 洛陽公信知識產(chǎn)權(quán)事務(wù)所（普通合伙） 代理人 常曉虎
地址 200000 上海市松江區(qū)松江科技園區(qū)光華路328號3層
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種用于濺射鍍膜的輔助氣體供氣系統(tǒng)，包括供氣站、供氣管路和氣體分配模塊，供氣管路包括主管路和分支管路，主管路包括與供氣站連接的氧氣管路、氮氣管路和氬氣管路，每條主管路均連接有五條分支管，氧氣管路的分支管、氮氣管路的分支管以及氬氣管路的分支管之間通過四通管連接，每個四通管上均連接有與氣體分配模塊連接的分配管路，氣體分配模塊包括五個分段供氣單元，分段供氣單元設(shè)置在濺射室內(nèi)，并沿濺射室長度方向布置，由分段供氣單元為濺射室供氣，每個分段供氣單元與一條分配管路連通，每條分支管上設(shè)有閥門。本實用新型可實現(xiàn)在濺射室內(nèi)不同部位通入不同種類的輔助氣體，并控制輔助氣體的用量，改善雙銀玻璃和三銀玻璃膜層的均勻性。