真空磁控濺射鍍膜機用的水電端頭安裝結(jié)構(gòu)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202022504889.0 申請日 -
公開（公告）號 CN213624357U 公開（公告）日 2021-07-06
申請公布號 CN213624357U 申請公布日 2021-07-06
分類號 C23C14/35（2006.01）I 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 黃貝 申請（專利權(quán)）人 上海北玻鍍膜技術(shù)工業(yè)有限公司
代理機構(gòu) 洛陽公信知識產(chǎn)權(quán)事務(wù)所（普通合伙） 代理人 衛(wèi)煜睿
地址 200000上海市松江區(qū)科技園區(qū)光華路328號3層
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 真空磁控濺射鍍膜機用的水電端頭安裝結(jié)構(gòu)，包括:水電端殼體、轉(zhuǎn)軸以及設(shè)置在水電端殼體外部的水電座，在水電座上連接有冷卻水接頭，在所述水電端殼體外部還設(shè)有用于冷卻水檢漏的快插接頭和用于抽夾縫真空的快插接頭，所述轉(zhuǎn)軸的一端通過連接件與靶筒法蘭固定連接，在轉(zhuǎn)軸的外周面沿徑向設(shè)有斷面呈┏形狀的定位凸臺，定位凸臺的內(nèi)凹面與轉(zhuǎn)軸的外周面之間安裝有滾動軸承和第一骨架油封，在定位凸臺的外周面與水電端殼體之間的空腔內(nèi)設(shè)有第二骨架油封，在所述轉(zhuǎn)軸與水電端殼體之間還設(shè)有真空密封套。本方案通過對端頭的安裝結(jié)構(gòu)進行優(yōu)化，實現(xiàn)一種超薄端頭安裝結(jié)構(gòu)，從而降低對腔體空間尺寸的要求，使腔體尺寸變得更小，進而降低制造加工的成本。