一種磁控濺射實驗裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201721721641.1 申請日 -
公開（公告）號 CN207738649U 公開（公告）日 2018-08-17
申請公布號 CN207738649U 申請公布日 2018-08-17
分類號 C03C17/00 分類 玻璃；礦棉或渣棉;
發(fā)明人 穆鍵;李金成;常昱;郭爽 申請（專利權(quán)）人 上海北玻鍍膜技術(shù)工業(yè)有限公司
代理機構(gòu) 洛陽公信知識產(chǎn)權(quán)事務(wù)所（普通合伙） 代理人 常曉虎
地址 200000 上海市松江區(qū)松江科技園區(qū)光華路328號3層
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種磁控濺射實驗裝置，包括機架和機架上相連通的進口室和濺射室，濺射室由隔板分隔形成七個依次直線排列的工藝井位，沿工藝方向，第一工藝井位到第三工藝井位為第一組，第四工藝井位到第六工藝井位為第二組，同一組內(nèi)的工藝井位尺寸相同，第二組大于第一組的尺寸；進口室和每個工藝井位內(nèi)分別設(shè)有輸送方向一致的輸送輥道，在第二工藝井位和第五工藝井位的頂部各設(shè)有兩個濺射陰極，并在濺射陰極和下方的輸送輥道之間設(shè)有濺射擋板，濺射擋板和輸送輥道之間留有供玻璃基片通過的通道，濺射室的第四工藝井位和第七工藝井位均設(shè)有加熱裝置；濺射室和供氣系統(tǒng)連接，并在濺射室內(nèi)設(shè)有冷卻系統(tǒng)。本實用新型可以滿足大規(guī)模生產(chǎn)對磁控濺射設(shè)備的要求。