真空磁控濺射鍍膜機用的驅動端頭安裝結構

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202022503287.3 申請日 -
公開（公告）號 CN213624356U 公開（公告）日 2021-07-06
申請公布號 CN213624356U 申請公布日 2021-07-06
分類號 C23C14/35（2006.01）I 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學處理；金屬材料的擴散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 黃貝;季施豪 申請（專利權）人 上海北玻鍍膜技術工業(yè)有限公司
代理機構 洛陽公信知識產權事務所（普通合伙） 代理人 衛(wèi)煜睿
地址 200000上海市松江區(qū)科技園區(qū)光華路328號3層
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 真空磁控濺射鍍膜機用的驅動端頭安裝結構，包括：驅動端殼體和設置在驅動端殼體內的轉軸，所述轉軸的一端通過連接件與靶筒法蘭連接，另一端與驅動機構相連接并由驅動機構帶動其轉動，所述轉軸的外周面沿徑向設有斷面呈┏形狀的定位凸臺，定位凸臺的內凹面與轉軸的外周面之間形成用于安裝滾動軸承的腔室，在定位凸臺的外周面與驅動端殼體之間的空腔內設有骨架油封，在所述轉軸與驅動端殼體之間還設有真空密封套。本方案通過對端頭的安裝結構進行優(yōu)化，實現一種超薄端頭安裝結構，從而降低對腔體空間尺寸的要求，使腔體尺寸變得更小，進而降低制造加工的成本。