一種藍(lán)玻璃紅外截止濾光片及其鍍膜方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201510871554.3 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN105403942B 公開（公告）日 2019-03-08
申請(qǐng)公布號(hào) CN105403942B 申請(qǐng)公布日 2019-03-08
分類號(hào) G02B5/28;G02B1/10 分類 光學(xué);
發(fā)明人 孫波;焦?jié)?付勇;李智超 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 中光學(xué)集團(tuán)股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 鄭州紅元帥專利代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 利達(dá)光電股份有限公司;南陽利達(dá)光電有限公司
地址 473000 河南省南陽市工業(yè)路508號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種藍(lán)玻璃紅外截止濾光片及其鍍膜方法，濾光片包括基板，在基板上依次設(shè)有緩沖層和復(fù)合膜層，所述復(fù)合膜層由高折射率材料和低折射率材料交替疊合形成。所述緩沖層由MgF2、Al2O3、H4或Ti3O5材料的一種或兩種以上組合構(gòu)成的膜層，所述高折射率材料是Ti3O5，所述低折射率材料是SiO2。鍍膜方法是將MgF2、Al2O3、H4、SiO2或Ti3O5材料中的一種或兩種以上材料電子槍沉積鍍膜在基板表面，再鍍制復(fù)合膜層，復(fù)合膜層的第一層使用離子源輔助沉積成膜，第一層離子源擋板延遲0到50s打開，其余層離子源擋板提前0?3s打開；然后由SiO2、Ti3O5交替鍍制在緩沖層上。本發(fā)明解決了藍(lán)玻璃濾光片由于本身材質(zhì)受損傷導(dǎo)致的膜層脫落，提高了藍(lán)玻璃濾光片的品質(zhì)。