線性優(yōu)化的光譜共焦測(cè)量裝置及方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201710167511.6 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN106907998A 公開（公告）日 2017-06-30
申請(qǐng)公布號(hào) CN106907998A 申請(qǐng)公布日 2017-06-30
分類號(hào) G01B11/02 分類 測(cè)量；測(cè)試;
發(fā)明人 劉杰波 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 深圳立儀科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 深圳市世紀(jì)恒程知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所 代理人 深圳立儀科技有限公司
地址 518116 廣東省深圳市龍崗區(qū)龍城街道黃閣路441號(hào)龍崗天安數(shù)碼創(chuàng)新園二號(hào)廠房B1201-2
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開一種線性優(yōu)化的光譜共焦測(cè)量裝置及方法，該裝置包括：光源，用于產(chǎn)生出射光，傳輸?shù)讲蓸硬浚徊蓸硬?，用于接收所述出射光后產(chǎn)生第一次色散，使產(chǎn)生所述第一次色散的光照射至被測(cè)物，且使由被測(cè)物返回的反射光通過(guò)后，傳輸給分光部，采樣部的色散與波長(zhǎng)為非線性關(guān)系；分光部，用于接收由采樣部返回的反射光，且將不同波長(zhǎng)的反射光產(chǎn)生第二次色散后傳輸?shù)絺鞲胁?，分光部的色散與波長(zhǎng)為非線性關(guān)系，采樣部非線性關(guān)系的差異與分光部非線性關(guān)系的差異部分或全部抵消；傳感部，用于將所述反射光轉(zhuǎn)換成電信號(hào)，以獲取測(cè)量結(jié)果。本發(fā)明能減少采樣部的鏡片數(shù)量，同時(shí)大幅度提高測(cè)量精度。