光譜平衡的共聚焦測量裝置及方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201710085306.5 申請日 -
公開（公告）號 CN106872376A 公開（公告）日 2017-06-20
申請公布號 CN106872376A 申請公布日 2017-06-20
分類號 G01N21/27(2006.01)I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 劉杰波 申請（專利權）人 深圳立儀科技有限公司
代理機構 深圳市世紀恒程知識產(chǎn)權代理事務所 代理人 深圳立儀科技有限公司
地址 518116 廣東省深圳市龍崗區(qū)龍城街道黃閣路441號龍崗天安數(shù)碼創(chuàng)新園二號廠房B1201-2
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開一種光譜平衡的共聚焦測量裝置及方法，該裝置包括光源，用于發(fā)出預設的光譜分布特性的出射光，出射光在不同的波長時的光強分布曲線與傳感部、采樣部和/或分光部的光譜響應曲線在工作波段呈反向的走勢；采樣部，用于接收出射光后產(chǎn)生軸向色差照射至被測物，且使由被測物返回的反射光通過；分光部，用于將不同波長的光按規(guī)律分配到傳感部；傳感部；耦合部，用于耦合光源發(fā)出的出射光經(jīng)過采樣部照射在被測物上；且使被測物返回的反射光經(jīng)過采樣部傳輸?shù)椒止獠?。本發(fā)明使光源發(fā)出的出射光在不同的波長時的光強分布曲線與傳感部、采樣部和/或分光部的光譜響應曲線在工作波段呈反向的走勢，實現(xiàn)了光譜平衡優(yōu)化，提高了測量精度。