一種坩堝罩和坩堝系統(tǒng)
基本信息
申請?zhí)?/td> | CN201110206298.8 | 申請日 | - |
公開(公告)號 | CN102888651B | 公開(公告)日 | 2015-09-23 |
申請公布號 | CN102888651B | 申請公布日 | 2015-09-23 |
分類號 | C30B28/06(2006.01)I;C30B29/06(2006.01)I | 分類 | 晶體生長〔3〕; |
發(fā)明人 | 黃水霞;曾國偉;王偉亮;龐昭 | 申請(專利權(quán))人 | 浙江昱輝節(jié)能技術(shù)有限公司 |
代理機構(gòu) | 北京集佳知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人 | 浙江昱輝陽光能源有限公司 |
地址 | 314117 浙江省嘉興市嘉善縣姚莊鎮(zhèn)工業(yè)園區(qū) | ||
法律狀態(tài) | - |
摘要
摘要 | 本發(fā)明實施例公開了一種坩堝罩包括周向封閉的罩壁和設(shè)置在所述罩壁的中部的定位凸起。當(dāng)使用生產(chǎn)多晶硅時,將上述坩堝罩設(shè)置在石英坩堝上,從而增加了坩堝的高度,因此可以增加了坩堝的投料量。另外,上述坩堝罩和坩堝為分離式設(shè)計,坩堝罩的材質(zhì)選用氮化硅,而氮化硅是一種重要的結(jié)構(gòu)陶瓷材料,本身具有潤滑性,并且耐磨損,抗腐蝕能力強,高溫時抗氧化。而且它還能抵抗冷熱沖擊,在空氣中加熱到1000℃以上,急劇冷卻再急劇加熱,也不會碎裂。氮化硅陶瓷還具有抗金屬熔融性,并且在保護氣氛中能耐1800℃高溫,可實現(xiàn)重復(fù)利用。本發(fā)明實施例還公開了一種具有坩堝罩的坩堝系統(tǒng)。 |
