硅片超聲清洗裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201110208933.6 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN102896106B 公開(kāi)（公告）日 2015-04-08
申請(qǐng)公布號(hào) CN102896106B 申請(qǐng)公布日 2015-04-08
分類號(hào) B08B3/12(2006.01)I 分類 清潔;
發(fā)明人 鐘偉;凌永峰;王雪芹;黨鵬 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 浙江昱輝節(jié)能技術(shù)有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京集佳知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 浙江昱輝陽(yáng)光能源有限公司
地址 314117 浙江省嘉興市嘉善縣姚莊鎮(zhèn)工業(yè)園區(qū)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明實(shí)施例公開(kāi)了一種硅片超聲清洗裝置，該裝置包括：多個(gè)依次排列的漂洗槽體；設(shè)置在每一個(gè)漂洗槽體上的超聲裝置；與所述多個(gè)依次排列的漂洗槽體中的一個(gè)槽體相連的純水進(jìn)水總管；設(shè)置在所述純水進(jìn)水總管上的純水開(kāi)關(guān)電磁閥；其中，所述多個(gè)漂洗槽體中相鄰的漂洗槽體相互連通。本發(fā)明所提供的硅片超聲清洗裝置，由于多個(gè)漂洗槽體中相鄰的漂洗槽體相互連通，且純水進(jìn)水總管只與其中的一個(gè)漂洗槽體相連，因此，在對(duì)大量硅片進(jìn)行清洗時(shí)，能夠提高純水的利用率，避免純水的浪費(fèi)。