硅片運載裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201110209304.5 申請日 -
公開（公告）號 CN102897488B 公開（公告）日 2015-07-08
申請公布號 CN102897488B 申請公布日 2015-07-08
分類號 H01L21/677(2006.01)I;B65G21/22(2006.01)I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 劉琴 申請（專利權(quán)）人 浙江昱輝節(jié)能技術(shù)有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京集佳知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 浙江昱輝陽光能源有限公司
地址 314117 浙江省嘉興市嘉善縣姚莊鎮(zhèn)工業(yè)園區(qū)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供了一種硅片運載裝置，包括：設(shè)置有軌道的支撐架(1)，所述軌道(12)上設(shè)置有輪槽(121)；和位于所述支撐架(1)上，且設(shè)置有與所述輪槽(121)滾動配合的硅膠滾輪(22)的承載小車。本發(fā)明提供的硅片運載裝置減少了硅片在運輸過程中的破損，進(jìn)而降低了硅片生產(chǎn)廠家的生產(chǎn)成本。