一種硅片切割液冷卻裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201620006405.0 申請日 -
公開（公告）號 CN205482470U 公開（公告）日 2016-08-17
申請公布號 CN205482470U 申請公布日 2016-08-17
分類號 F28D7/02(2006.01)I;F28F19/01(2006.01)I 分類 一般熱交換;
發(fā)明人 李朝輝;王軍 申請（專利權）人 江西忠智太陽能科技有限公司
代理機構 新余市渝星知識產權代理事務所（普通合伙） 代理人 廖平
地址 338000 江西省新余市開發(fā)區(qū)春龍工業(yè)園江西忠智太陽能科技有限公司
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種硅片切割液冷卻裝置。包括進液腔，所述進液腔一側外沿設有第一法蘭，所述進液腔端面下部設有切割液進口,所述進液腔遠離切割液進口的一端設有腔體，所述腔體靠近進液腔端部的一側設有第二法蘭,所述第一法蘭與第二法蘭之間設有第一法蘭墊,所述腔體靠近進液腔的一端設有過濾網，所述過濾網遠離進液腔的一側為兩個相同形狀的切割液冷卻管道，所述腔體靠近第二法蘭的一側設有冷卻液出口，所述腔體遠離過濾網的一端設有切割液出口，所述腔體靠近切割液出口的一側設有冷卻液進口，所述過濾網為細密金屬網狀結構。本實用新型，細密金屬網狀的過濾網能夠過濾掉切割液中顆粒較小的雜質。