一種加熱爐及其工作方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202111441623.9 申請日 -
公開（公告）號 CN113970249A 公開（公告）日 2022-01-25
申請公布號 CN113970249A 申請公布日 2022-01-25
分類號 F27B17/00（2006.01）I;F27D7/06（2006.01）I;F27D9/00（2006.01）I;F27D17/00（2006.01）I;F27D19/00（2006.01）I 分類 爐；窯；烘烤爐；蒸餾爐〔4〕;
發(fā)明人 黃占超;鄭清忠 申請（專利權(quán)）人 安泊智匯半導體設(shè)備（上海）有限責任公司
代理機構(gòu) 北京三聚陽光知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 麻雪梅
地址 201114 上海市閔行區(qū)新駿環(huán)路189號1幢4層C402室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供一種加熱爐及其工作方法，加熱爐包括：爐腔；設(shè)置在所述爐腔外側(cè)的爐套層，所述爐套層和所述爐腔的腔壁之間具有間隙；與所述爐套層的外壁固定連接且與所述間隙連通的多通切換裝置，所述多通切換裝置適于給所述間隙提供不同介質(zhì)。爐套層和腔壁之間的間隙為介質(zhì)提供了流通空間，通過設(shè)置與間隙連通的多通切換裝置，使加熱爐在升溫過程、保溫過程和降溫過程中，可以通過多通切換裝置向間隙通入一種介質(zhì)或者多種介質(zhì)，提高了加熱爐在升溫過程中的升溫效率，減少了加熱爐在保溫過程中的熱量損失，提高了加熱爐在降溫過程中的降溫效率，因此，節(jié)省了加熱爐的能量，提高了加熱爐的產(chǎn)能。