推力測(cè)量方法及裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202110569827.4 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN113358557A 公開(kāi)（公告）日 2021-09-07
申請(qǐng)公布號(hào) CN113358557A 申請(qǐng)公布日 2021-09-07
分類(lèi)號(hào) G01N19/04（2006.01）I 分類(lèi) 測(cè)量；測(cè)試;
發(fā)明人 陳依籍 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 深圳市艾比森光電股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 廣州三環(huán)專(zhuān)利商標(biāo)代理有限公司 代理人 熊永強(qiáng)
地址 518000廣東省深圳市龍崗區(qū)坂田街道雪崗路2018號(hào)天安云谷產(chǎn)業(yè)園1期3棟A座20層
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本申請(qǐng)公開(kāi)了一種推力測(cè)量方法及裝置，其中推力測(cè)量方法包括獲取待測(cè)目標(biāo)上的標(biāo)識(shí)點(diǎn)，基于所述標(biāo)識(shí)點(diǎn)形成坐標(biāo)系；獲取所述待測(cè)目標(biāo)上的晶片在所述坐標(biāo)系中的坐標(biāo)；基于所述晶片的坐標(biāo)，控制推力探針對(duì)所述晶片進(jìn)行推力測(cè)量。通過(guò)坐標(biāo)系建立，以及晶片在坐標(biāo)系中坐標(biāo)的識(shí)別，可以自動(dòng)對(duì)位，對(duì)位精確度較高，測(cè)量效率也大幅度提升。