推力測量方法及裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110569827.4 申請日 -
公開（公告）號 CN113358557A 公開（公告）日 2021-09-07
申請公布號 CN113358557A 申請公布日 2021-09-07
分類號 G01N19/04（2006.01）I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 陳依籍 申請（專利權）人 深圳市艾比森光電股份有限公司
代理機構 廣州三環(huán)專利商標代理有限公司 代理人 熊永強
地址 518000廣東省深圳市龍崗區(qū)坂田街道雪崗路2018號天安云谷產(chǎn)業(yè)園1期3棟A座20層
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本申請公開了一種推力測量方法及裝置，其中推力測量方法包括獲取待測目標上的標識點，基于所述標識點形成坐標系；獲取所述待測目標上的晶片在所述坐標系中的坐標；基于所述晶片的坐標，控制推力探針對所述晶片進行推力測量。通過坐標系建立，以及晶片在坐標系中坐標的識別，可以自動對位，對位精確度較高，測量效率也大幅度提升。