一種直拉單晶中掉棒的保護設(shè)備

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202011638121.0 申請日 -
公開（公告）號 CN112853484A 公開（公告）日 2021-05-28
申請公布號 CN112853484A 申請公布日 2021-05-28
分類號 C30B29/06(2006.01)I;C30B15/00(2006.01)I;C30B15/20(2006.01)I 分類 晶體生長〔3〕;
發(fā)明人 馬騰飛;汪奇;張銀 申請（專利權(quán)）人 四川晶科能源有限公司
代理機構(gòu) 北京集佳知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 劉曉菲
地址 614802四川省樂山市五通橋區(qū)橋溝鎮(zhèn)十字街10號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開一種直拉單晶中掉棒的保護設(shè)備，包括導(dǎo)軌、抱爪和重量檢測器，導(dǎo)軌用于設(shè)置在單晶爐副室內(nèi)壁上，抱爪與導(dǎo)軌滑動連接，抱爪用于夾緊晶棒，重量檢測器用于檢測晶棒重量。本申請公開的直拉單晶中掉棒的保護設(shè)備，正常狀態(tài)下，抱爪隱藏在副室閥倉內(nèi)，不阻擋正常的晶棒拉制，重量檢測器則實時檢測拉出的晶棒的重量，當(dāng)重量檢測器檢測到晶棒的重量變化值與預(yù)設(shè)值誤差大于10kg時，抱爪迅速打開，并夾住掉落的晶棒，抱爪夾住掉落的晶棒后上升，沿著導(dǎo)軌上升至指定位置，使掉落的晶棒脫離坩堝中硅溶液液面，停爐處理，避免掉落的晶棒造成砸裂石英坩堝導(dǎo)致漏硅，預(yù)防二次事故的發(fā)生。??