一種可移動的晶圓檢測顯微鏡組

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202021304598.0 申請日 -
公開（公告）號 CN212483973U 公開（公告）日 2021-02-05
申請公布號 CN212483973U 申請公布日 2021-02-05
分類號 G02B21/00(2006.01)I;H01L21/66(2006.01)I 分類 光學;
發(fā)明人 莫景釗;葉緯;莫景新 申請（專利權(quán)）人 廣東唯是晶圓科技有限公司
代理機構(gòu) 北京卓特專利代理事務所（普通合伙） 代理人 段宇
地址 529000廣東省江門市新會裝備產(chǎn)業(yè)園大澤園區(qū)辦公樓101室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種可移動的晶圓檢測顯微鏡組，包括機架及數(shù)碼顯微鏡，機架設有連接機架兩側(cè)的橫向?qū)к?，橫向?qū)к壣显O有固定塊，固定塊可沿橫向?qū)к墮M向移動，固定塊連接有豎向?qū)к墸Q向?qū)к壴O有安裝塊，安裝塊可沿豎向?qū)к壺Q向移動，數(shù)碼顯微鏡與安裝塊固定連接，安裝塊的下方設有用于放置晶圓的承托盤，承托盤底部中心與旋轉(zhuǎn)電機連接，旋轉(zhuǎn)電機驅(qū)動成托盤轉(zhuǎn)動，本實用新型可實現(xiàn)晶圓的自動化檢測，效率高。??