一種晶圓瑕疵檢測(cè)機(jī)架
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202021450198.0 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN213026066U | 公開（公告）日 | 2021-04-20 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN213026066U | 申請(qǐng)公布日 | 2021-04-20 |
| 分類號(hào) | G01N33/00(2006.01)I;H01L21/673(2006.01)I;G01G19/62(2006.01)I | 分類 | 基本電氣元件; |
| 發(fā)明人 | 莫景釗;葉緯;莫景新 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 廣東唯是晶圓科技有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 北京卓特專利代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 段宇 |
| 地址 | 529000廣東省江門市新會(huì)裝備產(chǎn)業(yè)園大澤園區(qū)辦公樓101室 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型公開了一種晶圓瑕疵檢測(cè)機(jī)架，包括機(jī)架主體，所述機(jī)架主體的包括若干置物框架，所述置物框架的內(nèi)壁兩側(cè)安裝有開口朝內(nèi)的對(duì)稱的若干排夾持部，所述夾持部?jī)?nèi)覆蓋有第一軟膠層，所述置物框架的內(nèi)壁的一側(cè)的夾持部的外側(cè)壁連接有調(diào)節(jié)桿，若干所述調(diào)節(jié)桿穿過所述機(jī)架主體的側(cè)壁連接有聯(lián)動(dòng)塊，所述調(diào)節(jié)桿位于置物框架的外側(cè)壁上設(shè)有限位夾。本實(shí)用新型公開的晶圓瑕疵檢測(cè)機(jī)架，具備暫存將要質(zhì)檢晶圓的作用同時(shí)具備不損傷晶圓表面的效果。?? |
