一種碳化硅晶圓無塵存放裝置
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202021303712.8 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN213010074U | 公開（公告）日 | 2021-04-20 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN213010074U | 申請(qǐng)公布日 | 2021-04-20 |
| 分類號(hào) | B08B1/02(2006.01)I;B65G1/04(2006.01)I;B08B5/02(2006.01)I;B08B1/00(2006.01)I | 分類 | 輸送；包裝；貯存；搬運(yùn)薄的或細(xì)絲狀材料; |
| 發(fā)明人 | 莫景釗;葉緯;莫景新 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 廣東唯是晶圓科技有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 北京卓特專利代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 段宇 |
| 地址 | 529000廣東省江門市新會(huì)裝備產(chǎn)業(yè)園大澤園區(qū)辦公樓101室 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型公開了一種碳化硅晶圓無塵存放裝置，包括第一輸送帶及存放室，第一輸送帶的上方設(shè)有毛刷輥及吹氣管，存放室內(nèi)設(shè)有第一升降輸送裝置及存放架，存放室設(shè)有進(jìn)入口，第一輸送帶通過進(jìn)入口與所述第一升降輸送裝置的一端連接，第一升降輸送裝置的另一端與存放架的一端連接，存放架設(shè)有若干個(gè)存放腔，升降輸送裝置可升降與存放腔連接，本實(shí)用新型可對(duì)晶圓進(jìn)行除塵輸送、無塵存放的碳化硅晶圓無塵存放裝置。?? |
