一種用于晶圓檢測的移動防振平臺

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202021303713.2 申請日 -
公開（公告）號 CN213017474U 公開（公告）日 2021-04-20
申請公布號 CN213017474U 申請公布日 2021-04-20
分類號 F16F15/023(2006.01)I;F16F15/02(2006.01)I;F16F15/08(2006.01)I 分類 工程元件或部件；為產(chǎn)生和保持機器或設(shè)備的有效運行的一般措施；一般絕熱;
發(fā)明人 莫景釗;葉緯;莫景新 申請（專利權(quán)）人 廣東唯是晶圓科技有限公司
代理機構(gòu) 北京卓特專利代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 段宇
地址 529000廣東省江門市新會裝備產(chǎn)業(yè)園大澤園區(qū)辦公樓101室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種用于晶圓檢測的移動防振平臺，包括承托平臺、支撐腳及防振座，支撐腳設(shè)于所述承托平臺底部，支撐腳至少設(shè)置兩個，相鄰的所述支撐腳之間連接有拱形橫梁，支撐腳的頂部設(shè)有氣浮式減振器，承托平臺通過氣浮式減振器與支撐腳連接，防振座內(nèi)填充有防振填充料，防振座的頂部設(shè)有與支撐腳配合的安裝槽，支撐腳設(shè)于安裝槽內(nèi)，支撐腳內(nèi)設(shè)有減振彈簧，本實用新型防振效果良好。??