一種晶圓位置檢測校對裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202021146687.7 申請日 -
公開（公告）號 CN213022913U 公開（公告）日 2021-04-20
申請公布號 CN213022913U 申請公布日 2021-04-20
分類號 G01N21/956(2006.01)I;H01L21/66(2006.01)I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 莫景釗;葉緯;莫景新 申請（專利權）人 廣東唯是晶圓科技有限公司
代理機構 北京卓特專利代理事務所（普通合伙） 代理人 段宇
地址 529000廣東省江門市新會裝備產(chǎn)業(yè)園大澤園區(qū)辦公樓101室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種晶圓位置檢測校對裝置，涉及晶圓加工技術領域，包括：支架、旋轉組件、顯微鏡、激光燈、調節(jié)結構和減震組件，所述支架的底部安裝有調節(jié)結構，所述連接桿的另一端豎直安裝有顯微鏡，所述顯微鏡的一側安裝有激光燈，所述旋轉組件安裝在調節(jié)結構的頂部，通過設置旋轉組件和調節(jié)結構，縱向馬達和橫向馬達作業(yè)時，改變旋轉組件的位置，能夠實現(xiàn)微調，通過三組激光的照射點均落在定位桿頂部端面上，表示將晶圓的位置調至到顯微鏡的正下方，能夠實現(xiàn)多點定位，提高檢測的準確性，旋轉馬達做間歇式作業(yè)，能夠實現(xiàn)旋轉盤的旋轉，在輪轉的過程中，補料、取料和檢測可以同步進行，能夠實現(xiàn)周期循環(huán)，提高檢測的效率，提高檢測的精度。??