一種碳化硅晶圓生產(chǎn)輸送機(jī)構(gòu)
基本信息
| 申請?zhí)?/td> | CN202021450095.4 | 申請日 | - |
| 公開（公告）號 | CN213008276U | 公開（公告）日 | 2021-04-20 |
| 申請公布號 | CN213008276U | 申請公布日 | 2021-04-20 |
| 分類號 | B62B5/00(2006.01)I;B62B3/02(2006.01)I;B62B3/04(2006.01)I | 分類 | 無軌陸用車輛; |
| 發(fā)明人 | 莫景釗;葉緯;莫景新 | 申請（專利權(quán)）人 | 廣東唯是晶圓科技有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 北京卓特專利代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 段宇 |
| 地址 | 529000廣東省江門市新會裝備產(chǎn)業(yè)園大澤園區(qū)辦公樓101室 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型公開了一種碳化硅晶圓生產(chǎn)輸送機(jī)構(gòu)，包括設(shè)置在底部的行走組件，所述行走組件的表面設(shè)有開口向上的容納倉，所述容納倉包括設(shè)置在行走組件表面的固定擋片，所述行走組件的表面安裝有圓形的旋轉(zhuǎn)盤，所述旋轉(zhuǎn)盤上圍繞其圓心設(shè)置的晶圓放置間隔，所述固定擋片的兩側(cè)邊緣安裝有上、下分布的導(dǎo)軌，所述導(dǎo)軌上安裝有活動(dòng)擋片。本實(shí)用新型公開的碳化硅晶圓生產(chǎn)輸送機(jī)構(gòu)，有效對轉(zhuǎn)運(yùn)的晶圓片得到有效的防護(hù)，操作人員能夠方便起卸晶圓片。?? |
