一種用于晶圓生產(chǎn)的切割裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202021147211.5 申請日 -
公開(公告)號 CN213005967U 公開(公告)日 2021-04-20
申請公布號 CN213005967U 申請公布日 2021-04-20
分類號 B28D5/02(2006.01)I;B28D7/02(2006.01)I;B28D7/04(2006.01)I;B28D7/00(2006.01)I 分類 加工水泥、黏土或石料;
發(fā)明人 莫景釗;葉緯;莫景新 申請(專利權(quán))人 廣東唯是晶圓科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京卓特專利代理事務(wù)所(普通合伙) 代理人 段宇
地址 529000廣東省江門市新會裝備產(chǎn)業(yè)園大澤園區(qū)辦公樓101室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種用于晶圓生產(chǎn)的切割裝置,包括機(jī)殼、柜門、切割組件、固定組件、物料罐底和濾塵組件,所述機(jī)殼的前端端面一側(cè)固定安裝有柜門,所述機(jī)殼的內(nèi)側(cè)底部設(shè)置有物料罐底,所述物料罐底的頂部上方設(shè)置有固定組件,所述機(jī)殼的內(nèi)壁一側(cè)設(shè)置有切割組件,所述機(jī)殼的內(nèi)側(cè)頂部設(shè)置有濾塵組件;所述機(jī)殼的底部端面四周均固定安裝有所述支撐柱;所述固定組件包括承重支架、固定框、切割臺、切割頂板、防刮墊片、調(diào)節(jié)套管、鎖緊螺柱、固定架和防滑墊片;該用于晶圓生產(chǎn)的切割裝置,固定牢固,能夠有效防止晶圓發(fā)生滑脫的情況;在使用時,切割方便,能夠有效將切割產(chǎn)生的晶圓碎屑進(jìn)行清潔,清潔效果好。??