一種用于晶圓芯片測試的trim熔絲裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202120399474.3 申請日 -
公開(公告)號(hào) CN214427564U 公開(公告)日 2021-10-19
申請公布號(hào) CN214427564U 申請公布日 2021-10-19
分類號(hào) G01R31/26(2014.01)I;G01R1/02(2006.01)I 分類 測量;測試;
發(fā)明人 周國成 申請(專利權(quán))人 無錫矽鵬半導(dǎo)體檢測有限公司
代理機(jī)構(gòu) 無錫市匯誠永信專利代理事務(wù)所(普通合伙) 代理人 朱曉林
地址 214000江蘇省無錫市錫山經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)芙蓉中三路99號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型涉及芯片測試技術(shù)領(lǐng)域,公開了一種用于晶圓芯片測試的tr im熔絲裝置,包括探針卡、轉(zhuǎn)接板、轉(zhuǎn)接頭和轉(zhuǎn)接座,探針卡上焊接有多個(gè)熔絲,轉(zhuǎn)接頭焊接在探針卡上,熔絲分別通過導(dǎo)線接到轉(zhuǎn)接頭上,轉(zhuǎn)接座焊接在轉(zhuǎn)接板上,轉(zhuǎn)接頭插入到轉(zhuǎn)接座中;轉(zhuǎn)接板上設(shè)有多個(gè)熔絲單元,熔絲單元包括隔離繼電器和電容,電容一端通過導(dǎo)線接到轉(zhuǎn)接座上,電容另一端與隔離繼電器的常開觸點(diǎn)A電連接,隔離繼電器的常開觸點(diǎn)B通過導(dǎo)線接到轉(zhuǎn)接座上,與熔絲電連接,隔離繼電器的控制線圈的兩端分別接到轉(zhuǎn)接座上,由于隔離繼電器與探針卡分體設(shè)置,在使用時(shí)隔離繼電器不會(huì)占用探針卡上的其余測試通道的面積,而且不會(huì)有電氣干擾,確保測試穩(wěn)定。