一種拉晶爐P-N型轉(zhuǎn)換過程中雜質(zhì)元素的控制系統(tǒng)及方法
基本信息
申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202210079672.0 | 申請(qǐng)日 | - |
公開(公告)號(hào) | CN114574964A | 公開(公告)日 | 2022-06-03 |
申請(qǐng)公布號(hào) | CN114574964A | 申請(qǐng)公布日 | 2022-06-03 |
分類號(hào) | C30B29/06;C30B15/00;C30B15/20 | 分類 | 晶體生長〔3〕; |
發(fā)明人 | 王忠保;馬成;芮陽 | 申請(qǐng)(專利權(quán))人 | 寧夏中欣晶圓半導(dǎo)體科技有限公司 |
代理機(jī)構(gòu) | 杭州融方專利代理事務(wù)所(普通合伙) | 代理人 | 沈相權(quán) |
地址 | 311201 浙江省杭州市錢塘新區(qū)東墾路888號(hào) | ||
法律狀態(tài) | - |
摘要
摘要 | 本發(fā)明公開了一種拉晶爐P?N型轉(zhuǎn)換過程中雜質(zhì)元素的控制系統(tǒng)及方法,本發(fā)明涉及單晶硅制備技術(shù)領(lǐng)域。該拉晶爐P?N型轉(zhuǎn)換過程中雜質(zhì)元素的控制系統(tǒng)及方法,通過除雜質(zhì)組件的設(shè)置,當(dāng)充氣腔與液面保持齊平停止后,當(dāng)連桿通過滑塊以及滑槽的配合向下移動(dòng)的同時(shí)、將對(duì)應(yīng)的復(fù)位彈簧進(jìn)行拉伸,當(dāng)通過驅(qū)動(dòng)氣缸的運(yùn)行,帶動(dòng)其端部固定安裝的拉晶硅棒向上拉動(dòng)的同時(shí),液面會(huì)隨著晶體的生長進(jìn)行下降,同時(shí)若干個(gè)與液面接觸的吸附棒會(huì)通過液面的下降以及復(fù)位彈簧的配合進(jìn)行緩慢下降的同時(shí)、緩慢與液面進(jìn)行分離,直至液面的雜質(zhì)吸附至吸附棒的端部向下堆積,保證了雜質(zhì)的吸附效果,提升了晶體的生長質(zhì)量。 |
