一種降低輕摻硼晶棒體內(nèi)鐵含量系統(tǒng)及操作方法
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202210165196.4 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN114574975A | 公開(kāi)（公告）日 | 2022-06-03 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN114574975A | 申請(qǐng)公布日 | 2022-06-03 |
| 分類號(hào) | C30B35/00;C30B33/00 | 分類 | 晶體生長(zhǎng)〔3〕; |
| 發(fā)明人 | 王忠保;馬成;芮陽(yáng) | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 寧夏中欣晶圓半導(dǎo)體科技有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 杭州融方專利代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 沈相權(quán) |
| 地址 | 311201 浙江省杭州市錢(qián)塘新區(qū)東墾路888號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明公開(kāi)了一種降低輕摻硼晶棒體內(nèi)鐵含量系統(tǒng)及操作方法，所述調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)包括支撐臺(tái)，所述支撐臺(tái)的頂部開(kāi)設(shè)有凹槽，所述支撐臺(tái)的底部開(kāi)設(shè)有放置槽，本發(fā)明涉及半導(dǎo)體處理技術(shù)領(lǐng)域。該降低輕摻硼晶棒體內(nèi)鐵含量系統(tǒng)及操作方法，通過(guò)在支撐臺(tái)、凹槽、放置槽、驅(qū)動(dòng)電機(jī)、驅(qū)動(dòng)齒輪、第一槽體、第二槽體、第一轉(zhuǎn)軸、第二轉(zhuǎn)軸、第一轉(zhuǎn)動(dòng)齒輪、夾持組件、第二轉(zhuǎn)動(dòng)齒輪、升降機(jī)構(gòu)和傳動(dòng)組件的配合使用下，在輕摻硼單晶未熔融前，在加熱的時(shí)候?qū)崿F(xiàn)翻轉(zhuǎn)，從而使得輕摻硼單晶各面受熱均勻，以提高處理效果，解決了現(xiàn)有的處理方式采用開(kāi)放式熱場(chǎng)進(jìn)行輕摻硼單晶生長(zhǎng)，但是，輕摻硼單晶在加熱時(shí)，受熱不均勻，影響處理效果的問(wèn)題。 |
