一種吹氣型晶圓傳片系統(tǒng)及操作方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202210079640.0 申請日 -
公開（公告）號 CN114582769A 公開（公告）日 2022-06-03
申請公布號 CN114582769A 申請公布日 2022-06-03
分類號 H01L21/677;H01L21/683 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 程博;趙延祥;劉波 申請（專利權）人 寧夏中欣晶圓半導體科技有限公司
代理機構 杭州融方專利代理事務所（普通合伙） 代理人 沈相權
地址 311201 浙江省杭州市錢塘新區(qū)東墾路888號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種吹氣型晶圓傳片系統(tǒng)及操作方法，包括支撐臺，所述支撐臺的底部固定連接有底座，所述支撐臺的頂部固定連接有傳輸箱，所述支撐臺的前側固定連接有第一傳輸板和第二傳輸板，所述第一傳輸板的內(nèi)部設置有頂出機構，本發(fā)明涉及晶圓傳輸技術領域。該吹氣型晶圓傳片系統(tǒng)及操作方法，通過設置有轉(zhuǎn)向傳輸機構，利用驅(qū)動電機帶動驅(qū)動轉(zhuǎn)軸的轉(zhuǎn)動，驅(qū)動轉(zhuǎn)軸帶動了連接桿和卡柱在十字輪的卡槽中移動，以此實現(xiàn)了轉(zhuǎn)動板和提取箱的轉(zhuǎn)動，并通過提取板對晶圓進行夾緊，以此實現(xiàn)了對晶圓的夾緊，從而避免了吸附產(chǎn)生掉落的問題，并且實現(xiàn)了間歇的轉(zhuǎn)向，達到精確定位和傳輸?shù)哪康?，以此提高了晶圓傳片的效率。