晶棒碳含量軸向分布計算方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202210305967.5 申請日 -
公開（公告）號 CN114637954A 公開（公告）日 2022-06-17
申請公布號 CN114637954A 申請公布日 2022-06-17
分類號 G06F17/10（2006.01）I;C30B15/00（2006.01）I;C30B29/06（2006.01）I 分類 計算；推算；計數(shù);
發(fā)明人 閆龍;王忠保;周文輝 申請（專利權(quán)）人 寧夏中欣晶圓半導(dǎo)體科技有限公司
代理機構(gòu) 寧夏三源鑫知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 -
地址 750000寧夏回族自治區(qū)銀川市經(jīng)濟技術(shù)開發(fā)區(qū)光明西路28號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種晶棒碳含量軸向分布計算方法，構(gòu)建第一計算公式其中，K0為平衡溶質(zhì)分凝系數(shù)，gx為晶棒在x位置的凝固比例，Cx晶棒在x位置的碳含量，C0為拉晶前石英坩堝內(nèi)硅熔液中的碳含量，分別獲取K0、C0、gx的數(shù)值，并根據(jù)第一計算公式計算Cx，通過檢測晶棒尾部的碳含量，再利用第一計算公式，可以較為準確的計算出碳含量在晶棒的軸向分布，避免反切不足或反切過量造成單晶浪費的問題。