提高CV爐摻銻氧含量的控制系統(tǒng)及微控方法
基本信息
申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202210079676.9 | 申請(qǐng)日 | - |
公開(公告)號(hào) | CN114577023A | 公開(公告)日 | 2022-06-03 |
申請(qǐng)公布號(hào) | CN114577023A | 申請(qǐng)公布日 | 2022-06-03 |
分類號(hào) | F27D99/00;F27D9/00;F27D19/00;C21C7/10 | 分類 | 爐;窯;烘烤爐;蒸餾爐〔4〕; |
發(fā)明人 | 虎永慧;劉進(jìn);蔡瑞 | 申請(qǐng)(專利權(quán))人 | 寧夏中欣晶圓半導(dǎo)體科技有限公司 |
代理機(jī)構(gòu) | 杭州融方專利代理事務(wù)所(普通合伙) | 代理人 | 沈相權(quán) |
地址 | 311201 浙江省杭州市錢塘新區(qū)東墾路888號(hào) | ||
法律狀態(tài) | - |
摘要
摘要 | 本發(fā)明公開了提高CV爐摻銻氧含量的控制系統(tǒng)及微控方法,包括底座和固定在底座頂部的CV爐,所述CV爐的頂部嵌設(shè)安裝有爐蓋,所述爐蓋的底部固定有與CV爐相適配的嵌入盤,所述嵌入盤的表面固定有與CV爐內(nèi)壁接觸的空心密封圈,所述空心密封圈內(nèi)壁的兩側(cè)之間固定有擠壓彈簧,所述爐蓋的固定有把手,本發(fā)明涉及CV爐技術(shù)領(lǐng)域。該提高CV爐摻銻氧含量的控制系統(tǒng)及微控方法,通過手動(dòng)加強(qiáng)密封機(jī)構(gòu)的設(shè)置,便于通過壓緊和充氣同時(shí)進(jìn)行的方式進(jìn)行密封,有效杜絕外部空氣進(jìn)入CV爐內(nèi),實(shí)現(xiàn)嚴(yán)格密封,進(jìn)而可有效提高產(chǎn)品的生產(chǎn)質(zhì)量,通過鎖緊機(jī)構(gòu)的設(shè)置,便于對(duì)雙向螺桿進(jìn)行鎖緊,有效防止在使用過程之中出現(xiàn)密封松懈情況,提高使用安全性。 |
