一種提高<100>單晶成活率的放肩方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202210403758.4 申請日 -
公開（公告）號 CN114717648A 公開（公告）日 2022-07-08
申請公布號 CN114717648A 申請公布日 2022-07-08
分類號 C30B15/20（2006.01）I;C30B15/22（2006.01）I;C30B29/06（2006.01）I 分類 晶體生長〔3〕;
發(fā)明人 閆龍;周文輝;王忠保 申請（專利權(quán)）人 寧夏中欣晶圓半導(dǎo)體科技有限公司
代理機構(gòu) 寧夏三源鑫知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 -
地址 750000寧夏回族自治區(qū)銀川市經(jīng)濟技術(shù)開發(fā)區(qū)光明西路28號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供一種提高<100>單晶成活率的放肩的方法，屬于單晶爐提拉法生長單晶技術(shù)領(lǐng)域，根據(jù)預(yù)定拉速曲線進行晶棒拉制，以得到放肩肩型為等腰三角型的目標(biāo)英寸晶棒，本發(fā)明通過預(yù)定拉速曲線進行晶棒拉制，使得放肩的肩型統(tǒng)一，且在放肩的過程中能夠避免肩型中出現(xiàn)四條隆起脊帶的概率，從而降低放肩的NG率。