直拉硅單晶的摻雜裝置及方法
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202110829948.8 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN113549994B | 公開(kāi)（公告）日 | 2022-07-01 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN113549994B | 申請(qǐng)公布日 | 2022-07-01 |
| 分類(lèi)號(hào) | C30B15/04（2006.01）I;C30B15/20（2006.01）I;C30B29/06（2006.01）I | 分類(lèi) | 晶體生長(zhǎng)〔3〕; |
| 發(fā)明人 | 劉進(jìn);王忠保;李巨曉;芮陽(yáng);魏興彤;馬小龍;虎永慧 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 | 寧夏中欣晶圓半導(dǎo)體科技有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 寧夏三源鑫知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | - |
| 地址 | 750000寧夏回族自治區(qū)銀川市經(jīng)濟(jì)技術(shù)開(kāi)發(fā)區(qū)光明西路28號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 一種用于直拉硅單晶的摻雜裝置及方法，屬于直拉法生產(chǎn)單晶硅設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，包括石英內(nèi)膽、石英鐘罩和石英杯，在石英鐘罩內(nèi)設(shè)置石英內(nèi)膽，石英杯內(nèi)置于石英內(nèi)膽，在內(nèi)膽本體的上端從上而下依次蓋合有第一石英蓋、第二石英蓋，第一石英蓋與第二石英蓋之間形成排氣腔，第二石英蓋上設(shè)置有第一通氣孔，第一通氣孔上垂直安裝有調(diào)壓管，排氣片蓋合在第一通氣孔上，在內(nèi)膽本體的環(huán)壁上設(shè)有第二通氣孔，第二通氣孔位于所述第一石英蓋與第二石英蓋之間，在摻雜過(guò)程中，通過(guò)排氣片、調(diào)壓管及通氣孔可調(diào)節(jié)石英內(nèi)膽內(nèi)的壓力，避免冒泡現(xiàn)象的產(chǎn)生，減少摻雜劑的揮發(fā)，使得氣化摻雜劑充分融入硅熔液中進(jìn)行摻雜，提高摻雜率，減少爐內(nèi)污染。 |
