一種卷繞式PVD物理學(xué)沉積真空磁控濺射鍍銀銅合金層方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201810038344.X 申請日 -
公開（公告）號(hào) CN108330447A 公開（公告）日 2018-07-27
申請公布號(hào) CN108330447A 申請公布日 2018-07-27
分類號(hào) C23C14/16;C23C14/20;C23C14/35 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 譚勇 申請（專利權(quán)）人 廣東鑫豐海電子科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 深圳市智圈知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 韓紹君
地址 523000 廣東省東莞市東城街道牛山社區(qū)牛山工業(yè)園偉恒路5號(hào)A棟一樓
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開一種卷繞式PVD物理學(xué)沉積真空磁控濺射鍍銀銅合金層方法，包括在PET基膜表面除雜預(yù)處理、抽真空、充入惰性氣體、加熱、濺射復(fù)合多種金屬層等步驟。磁控濺射鍍表銀銅合金層的總厚度很薄，有效節(jié)省了生產(chǎn)時(shí)間；使得PET基膜表面層最終達(dá)到電流導(dǎo)通、電磁波防護(hù)、屏蔽信號(hào)干擾作用，復(fù)合合金層可以大幅度提高導(dǎo)電層與外界介質(zhì)的阻隔性，電磁波防護(hù)、屏蔽信號(hào)干擾、提高整體屏蔽效果。