一種磁控濺射雙面卷繞真空鍍膜裝置
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN201822241966.0 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN209292468U | 公開（公告）日 | 2019-08-23 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN209292468U | 申請(qǐng)公布日 | 2019-08-23 |
| 分類號(hào) | C23C14/35;C23C14/56 | 分類 | 對(duì)金屬材料的鍍覆；用金屬材料對(duì)材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕; |
| 發(fā)明人 | 譚勇 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 廣東鑫豐海電子科技有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 北京科億知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 湯東鳳 |
| 地址 | 523106 廣東省東莞市東城街道牛山社區(qū)牛山工業(yè)園偉恒路5號(hào)A棟一樓 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型適用于真空鍍膜技術(shù)領(lǐng)域，提供了一種磁控濺射雙面卷繞真空鍍膜裝置,包括盤形倉(cāng)和鍍膜筒，盤形倉(cāng)具體為兩個(gè)，兩個(gè)盤形倉(cāng)分別安裝在鍍膜筒的兩端，鍍膜筒的端部位于盤形倉(cāng)的上部且與盤形倉(cāng)的內(nèi)部相連通，兩個(gè)盤形倉(cāng)內(nèi)分別設(shè)有第一收開卷盤和第二收開卷盤，第一收開卷盤和第二收開卷盤上均安裝有驅(qū)動(dòng)軸，驅(qū)動(dòng)軸位于盤形倉(cāng)外部的一端安裝有驅(qū)動(dòng)電機(jī)，鍍膜筒前側(cè)的上部鉸接有密封門，鍍膜筒內(nèi)部中心一側(cè)的上表面安設(shè)有上鍍膜頭，鍍膜筒內(nèi)部中心遠(yuǎn)離鍍膜頭一側(cè)的下表面固定安設(shè)有下鍍膜頭。本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，操作使用方便，在使用過程中抽真空較為方便快捷，有利于進(jìn)行推廣使用。 |
